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장비정보
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장비명
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Tencor P-16 Step Height Measurement System |
| 모델명 |
P-16 |
제조사 |
KLA TENCOR |
| 웨이퍼사이즈 |
8"
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Vintage |
- |
| 매매상태 |
판매중
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장비상태 |
Operational
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| 제원 |
Head: Micro Head 5 - sr(13, 65, 327㎛ Range)
Lens Objective: Lens:6.4X , Magnification Range:300X~1012X
Load Chuck: ~8 inch with Precision locator
Health Check: No Error
Stylus type: Green(2㎛)
Frame Grabber: USB Camera type
Power Supply: 100~240V max 6A.
P.C: Dell Optiplex330,RAM 1GB, HDD 80GB
Option software: APEX
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